密立根法测量热膜式气体流量传感器中污染物颗粒带电量
Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering（2021）
摘要
热膜式气体流量传感器在实际使用过程中,其芯片表面很容易被微小颗粒污染,使精度达不到工作要求.试验研究发现,传感器通电工作时,芯片表面电场力是造成污染物颗粒吸附堆积的主要因素.因此,污染物颗粒带电量的大小对芯片表面颗粒的堆积有着直接影响.文中采用Mastersizer 2000激光粒度分析仪和密立根油滴仪联合测量了颗粒群的平均粒径和平均带电量.激光粒度分析仪所测污染物颗粒的平均粒径为3.311 μm,根据此平均粒径值,密立根油滴仪所测3.2～3.4 μm范围内的颗粒所带平均带电量为6.4×10-17 C,此带电量即为整个颗粒群的平均带电量.
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