关于检测抛物面反射镜质量的技术研究
Laser Technology（2021）
摘要
为了对小尺寸抛物面反射镜进行质量检测,采用平行光聚焦的方法测量焦距,旋转被测反射镜的方法测量偏心角,再结合图像处理的方法测量弥散斑大小,并提出了一种减小测量误差的方法;对这些测量方法进行了理论分析和实验验证,得到了待测反射镜的焦距、偏心角和弥散斑大小.结果表明,焦距的相对误差在0.1％以内,偏心角误差在7％以内,弥散斑大小小于0.2mm,测量结果可靠.该方案设计为其它小口径的非球面的检测提供了很好的思路,并且为减小测量误差、提高测量精度提供了很好的研究方法.
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