金刚石对顶砧封垫材料显微激光打孔机设计

王天一, 万嘉怡, 鲍永军,朱品文,叶梅艳, 王璐, 王琪

Journal of Jilin University(Science Edition)（2021）

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摘要

基于激光打孔原理,根据金刚石对顶砧金属封垫材料的孔型及尺寸要求,设计开发适用于金刚石对顶砧金属封垫材料的精密显微激光打孔装置.实验结果表明,该装置系统可满足金刚石对顶砧金属封垫材料微米尺度圆孔的激光打孔要求.

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