A Tunable Miniaturized RF MEMS Resonator With Simultaneous High $Q$ $(<\hbox{10}-\hbox{60}\ \mu\hbox{s})$
Journal of Microelectromechanical Systems（2013）
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要