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Selective Epitaxial Growth of Silicon Layer Using Batch-Type Equipment for Vertical Diode Application to Next Generation Memories

Kong-Soo Lee,Dae-Han Yoo, Young-Sub Yoo,Jae-Jong Han,Seok-Sik Kim, Hong-Sik Jeong,Chang-Jin Kang,Joo-Tae Moon,Hyunho Park, Hanwook Jeong, Gwang-Ryeol Kim,Byoungdeog Choi

ECS Meeting Abstracts（2010）

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