コバルトアミジナートによる窒化コバルトのプラズマ増強原子層堆積【JST・京大機械翻訳】Fan Qipeng,Sang Lijun,Jiang Derong,Yang Lizhen,Zhang Haibao,Chen Qiang,Liu ZhongweiJournal of Vacuum Science and Technology(2019)引用 0|浏览4暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要