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高アスペクト比フォトレジスト格子における方向性弾性波伝搬:液体浸透と老化【Powered by NICT】

Elena Alonso-Redondo, A. Gueddida, Jie Li, B. Graczykowski, C. M. Sotomayor Torres, Yan Pennec, Shu Yang, Bahram Djafari-Rouhani, George Fytas

Nanoscale（2017）

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