精密减速器检测仪测角误差补偿

针对圆光栅安装倾斜、光栅变形等因素造成的精密减速器检测仪测角系统精度降低,传统误差补偿方法采样点数受多面棱体工作面限制,导致补偿效果不足的问题,提出一种多数据关联的误差补偿方法.采用自准直仪结合正24面棱体对圆光栅测角误差进行标定,通过改变多面棱体与圆光栅在周向方向上的相对位置,得到多组测角误差标定数据.利用误差谐波法对多组测量数据进行预处理,将不同组数据关联,并代入BP神经网络中训练,得到圆光栅测角误差模型.该方法无需计算补偿式,能够克服误差谐波法在样本点过多时易产生拟合震荡的问题.实验结果表明:本文所提出的补偿方法残差峰峰值在0.94″内,标准差为0.25″,分别减小至误差谐波法修正后的33.3％和37.9％,有效提高了圆光栅测角系统的精度,使减速器检测仪测角精度达到亚角秒级.