质谱仪定量分析微量气体D2的校准因子研究

通过在质谱仪进气管路上安装的标定腔室与真空管路,实现了对与微球内气体含量相同范围的微量气体的获取.对质谱仪定量分析微量气体时的精密度及被测量氘气的压力对D2校准因子的影响进行了研究.结果表明:该四极质谱仪的精密度较高,不同压力下10次重复测量实验数据的相对标准偏差均小于0.004;校准后的一个月内质谱仪具有较高稳定性,其定量分析误差低于1％,准确度较高;D2和Ar的浓度校准因子在一年内的变化不超过3％,而D2的压力校准因子在一年内的变化超过8％;D2的压力校准因子 η 与被测量氘气的压力P1成反比,且 η 与logP1存在较好的线性关系,这种线性关系在半年内具有较高的稳定性.