表面粗糙度国际比对自动测量系统关键技术研究
Acta Metrologica Sinica（2022）
摘要
基于中国计量科学研究院的表面粗糙度基准计量装置,开展了视觉定位系统、自动操作系统和多自由度位移系统的研究,从而实现依据国际比对协议规定流程的自动化测量.实验验证表明:该系统可有效实现表面粗糙度的自动化测量,满足国际比对的要求.在对国际比对规定的表面粗糙度标准器的测量实验中,该系统的自动定位测量的重复性为4.2 nm,相比于手动定位测量提高了 2.6倍,有效地减少了测量过程中引入的人为误差.
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