电容薄膜真空计测量误差修正方法研究
Vacuum and Cryogenics（2022）
摘要
电容薄膜真空计是利用变极距平行平板电容器间接测量压力的仪器,未经过修正的真空计存在较大的测量误差.对电容薄膜真空计进行了校准试验,研究了测量误差与校准曲线的关系.提出了一种修正电容薄膜真空计测量误差的方法,并与仪器标定通用的修正因子法进行了对比分析.结果表明,该方法对误差曲线的修正作用优于单一修正因子法,能在全量程范围内起修正作用.研究结果为提高电容薄膜真空计的测量精度奠定了技术基础.
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