基于驻极体的低功耗非接触式电压测量技术

针对低功耗、高性能非接触式电压测量的需求,提出一种基于驻极体电容结构的非接触式电压测量技术.驻极体电容结构由正面蒸发有金属导电薄膜的驻极体薄膜、绝缘衬圈和金属电极构成,通过理论分析和有限元仿真,得到传感器的输出响应关系,并通过搭建实验测试平台对传感器进行性能测试.测试结果表明,传感器输出响应特性与理论分析吻合,并具有较好的线性度和重复性,在施加600、800、1000 Hz被测电压条件下,传感器的线性度分别达到6.1％、3.5％、2.7％,重复性分别达到9.67％、5.93％、5.46％.