高反镜疵病尺寸变化与激光散射场分布关系的仿真研究

高反镜通常用于激光陀螺、高能激光系统等国防领域,在加工过程中不可避免地引入表面疵病,会破坏高反射膜系甚至基底,严重影响其性能.目前高反射镜表面较为复杂的疵病依然是研究的重点.针对疵病的光散射特性,结合有限元(FEM)对截面为三角形的连续重复型划痕疵病建立电磁仿真模型,研究高斯光束入射时不同尺寸疵病的积分散射光强变化和不同位置处探测空间散射分布的区别,得到疵病散射光强曲线,能够反映出疵病尺寸变化与积分散射分布的关系以及空间散射最佳探测位置.研究结果对高反射镜表面疵病无损探测方法的研究具有一定的理论指导价值.