电容薄膜真空计的温度特性研究

WU Chengyao,CHENG Yongjun,SUN Wenjun,PEI Xiaoqiang,RAN Xin,DONG Meng,ZHAO Lan

International Vacuum Electronics Conference（2023）

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摘要

电容薄膜真空计(Capacitance Diaphragm Gauge,CDG)是一种常用的粗低真空测量传感器,具有较高的测量精度和稳定性.温度是影响真空计量准确性的重要因素之一,环境温度的变化会导致CDG的测量结果发生较大的偏移.为探究温度对CDG测量结果的影响情况,开展了温度环境实验,考察了保温型与非保温型CDG在-30℃～50℃环境中测量结果的变化情况.实验结果表明,保温型CDG在额定温度0℃～45℃环境中测量结果较为稳定,温度高于或低于该区间范围时,测量结果会发生一定程度的偏移;温度对非保温型CDG造成的影响较大,利用温度-压力误差曲面可以修正CDG误差,提高真空计测量精度.

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关键词

Capacitance diaphragm gauge,Temperature characteristic,Interpolation of Delaunay

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