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D2d Ultra-Fine Pitch, Direct Copper Bonding with Protruded and Recessed Topographies

Ali Roshanghias,Jaroslaw Kaczynski,Augusto Rodrigues, Reza Karami, Mariana Pires, Juergen Burggraf,Andreas Schmidt

SSRN Electronic Journal（2023）

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关键词
direct copper bonding,protruded,recessed topographies,ultra-fine
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