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Interface-independent sound speed and thermal conductivity of atomic-layer-deposition-grown amorphous AlN/Al2O3 multilayers with varying oxygen composition

Md Shafkat Bin Hoque,Ian A. Brummel,Eric R. Hoglund, C. Jaymes Dionne,Kiumars Aryana,John A. Tomko,John T. Gaskins, Daniel Hirt,Sean W. Smith,Thomas Beechem,James M. Howe,Ashutosh Giri,Jon F. Ihlefeld,Patrick E. Hopkins

Physical Review Materials（2023）

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