单电机驱动广义椭偏仪变角结构设计与实现
Journal of Applied Optics（2023）
摘要
针对目前常见广义椭偏仪变角结构多采用双电机驱动,且存在结构复杂、变角后光路存在偏离等问题,论文提出一种单电机驱动广义椭偏仪新的变角结构.该结构采用固定起偏臂,利用同步齿轮传动单电机驱动方式使载物台和检偏臂同步旋转,实现椭偏仪多角度测量.在传统卧式结构广义椭偏仪变角结构基础上,设置样品载物台和检偏臂 1∶2同步传动,并通过Inventor运动仿真验证了本结构的可行性.论文提出的单电机驱动变角结构变角后不仅维持了变角前后的准直,而且其整体结构简单,极大地优化了椭偏仪变角的复杂度,在广义椭偏仪工程化进程中有比较重要的应用价值.
更多关键词
generalized ellipsometer,variable angle mechanism,single motor
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要