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MEMS激光雷达综述

Microelectronics & Computer(2023)

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摘要
近年人工智能飞速发展,自动驾驶、智能驾驶已进入产业元年.激光雷达技术作为最为重要的自动驾驶视觉感知设备,正在进行不断的发展与迭代.本文旨在介绍激光雷达及其国内外研究现状.文中着重介绍了 MEMS固态激光雷达的核心部件MEMS微振镜的技术参数及指标,如视场角、光学孔径、扫描速度、扫描频率、MEMS微振镜尺寸以及品质因数.最终汇总了车载激光雷达的应用现状,展望车载激光雷达的未来与发展.
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