AlN基凹槽MSM紫外线探测器

紫外线探测器广泛应用于太空探测、军事，重大火灾监控与探测、生物医学分析、臭氧监控、太阳情况的监控等方面。金属-半导体-金属（MSM）结构辐射探测器是一种结构简单，性能优异的器件。它只需在半导体上生长肖特基接触金属电极即可达到对辐射探测的能力。为了进一步提高探测器AlN基MSM紫外线光电探测器响应时间、光电流指标，实验中使用TCAD模拟了AlN基凹槽MSM紫外线光电探测器在不同电极深度、宽度、间距、叉指电极面积下的情况。凹槽MSM探测器性能显示电极深度存在极限深度，不同宽度、间距、叉指面积均对器件性能有影响。光电流提高5-6个数量级、不同深度下的响应时间提高6.6%左右。