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C4.4 - Characterization of a Piezo-Resistive MEMS Microphone for Aero-Acoustic Measurements

Kolja Erbacher,Claire Bourquard, O. Lokesh, Lixue Wu,Piotr Mackowiak,Martin Schneider-Ramelow, Hué Thanh Ngo

Lectures（2023）

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关键词
microphone,mems,piezo-resistive,aero-acoustic
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