面向制造过程的虚拟量测技术综述与展望
Information and Control（2023）
Abstract
"零缺陷制造"作为工业4.0的拓展,致力于大幅提升产品良率并最终实现产品零瑕疵.目前,工业过程通常采取物理检测方式对产品进行质量检验,属于离线破坏性试验且检测成本高昂,检测结果无法及时指导生产.虚拟量测通过对生产过程数据进行监控、对产品品质或工艺进行预判,能够将传统离线且具延迟特性的品质抽检改成线上且即时的品质全检.本文首先沿时间线对虚拟量测的发展历程进行了综述;随后介绍了虚拟量测的研究现状和典型应用场景,特别是半导体制造领域;接着汇总了常见的虚拟量测技术方法及其所解决的实际工程问题,比如数据预处理方法、预测建模方法和系统功能设计;最后,对制造过程虚拟量测问题进行了展望,提出了一种集数据预处理与可视化、虚拟量测和质量追溯为一体的工业制造过程智能管理体系.
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zero-defect manufacturing,product yield,virtual metrology
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