Dépôt NEG pour applications dans les accélérateurs de particules : élaboration et caractérisation

Éric Mistretta, Jonathan Yemane, Suheyla Bilgen, Bruno Mercier, Frédéric Letellier,G. Sattonnay

HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)（2021）

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摘要

Developper des depots NEG (Non Evaporable Getter, alliage Ti-Zr-V) d'epaisseur mince (< 100 nm) pour des applications comme pompage distribue et depot antimultipacting pour FCC-ee (necessite d'avoir une epaisseur faible pour des raisons d'impedance).

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关键词

particules,applications

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