检索
AI 对话
AI 写作
analysis
趋势分析
编组
开放平台
more
更多
排名必读论文期刊顶会热点AI 简史溯源树小脉星探人才迁徙塔尖人才国防情报追踪开源工具智慧手语
VIPCreated with Sketch.

Interactions of water soluble Bio-sourced Resist with Fluorine Etching Plasmas during Photopatterning Processes

Paule Durin,Corinne Gablin, Aziz Benamrouche, Samar Hajjar‐Garreau,Alexandre Teolis, N. Rochat,Thomas Géhin,Stéphane Trombotto, Thierry Delair,Isabelle Servin,Raluca Tiron,Arnaud Bazin,Olha Sysova,Olivier Soppera,Emmanuelle Laurenceau, Jean Louis Leclercq,Yann Chevolot, Didier Léonard

HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)（2022）

引用 0|浏览9
暂无评分
关键词
resist,fluorine,plasmas,bio-sourced
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要