Исследование Влияния Температуры Подложки, Скорости И Времени Осаждения На Морфологию Поверхности

Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и учитывающая диффузию частиц. Она позволяет исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Обсуждаются результаты экспериментов, полученные с помощью атомно-силовой микроскопии, в сравнении с теоретическими данными, полученными путем моделирования с использованием предложенной диффузионной модели.