Влияние Температуры На Физическое Распыление Высокоориентированного Пиролитического Графита

Приводятся результаты исследования распыления и эрозии базисной грани высокоориентированного пирографита марки УПВ-1Т при облучении ионами Аr+ с энергией 30 кэВ в диапазоне температур от комнатной до 400°С. Найдено, что развивающийся при повышенных температурах ионно-индуцированный рельеф приводит к двукратному увеличению коэффициента распыления (Y = 2) по сравнению с распылением поверхности с наноразмерным рельефом при температурах, меньших температуры текстурного перехода Тt 150°С. Моделирование распыления по программе OKSANA поверхности с синусоидальным нанорельефом, отражающим нестабильность базисной грани УПВ-1Т при ионном облучении, позволило оценить отношение амплитуды к периоду рельефа при T < Tt.