ПРОБЛЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ КАЧЕСТВОМ БАЗОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ПРИ ПРОЕКТИРОВАНИИ И ПРОИЗВОДСТВЕ СБИС

Статья посвящена актуальным вопросам управления качеством базовых технологий микроэлектроники. Авторами предложена концепция расширенного рассмотрения базовой технологии, включающей технологический процесс, комплект средств проектирования и формируемую в процессе их применения конфигурацию конструкции СБИС. Рассмотрены основные составляющие системы управления качеством.