Перспективы Применения Метода Тандемной Низкокогерентной Интерферометрии Для Измерения Формы Асферических Поверхностей

Экспериментально продемонстрирована возможность построения профилометра на основе низкокогерентного тандемного интерферометра. Предложена методика, позволяющая избежать ошибок, связанных с колебаниями сканирующего устройства.