АБСОЛЮТНО КАЛИБРОВАННЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ЭУФ-МОЩНОСТИ ДЛЯ АТТЕСТАЦИИ ИСТОЧНИКОВ ИЗЛУЧЕНИЯ НА 13.5 НМ

И Г Забродин,Б А Закалов,С Ю Зуев,И А Каськов,Е Б Клюенков,А Я Лопатин,А Е Пестов, Н,Л А Суслов,Н И Чхало,Л А Шмаенок

Поверхность Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования（2007）

被引用0|浏览2

摘要

Описывается малогабаритный измеритель мощности излучения на длину волны 13.5 нм. Прибор предназначен для измерения мощности и аттестации источников излучения для ЭУФ-литографии. Чувствительность прибора составляет 0.033 А/Вт при обнаружительной способности 3. 3 ? 10-10 Вт. Отличительной особенностью прибора является возможность быстрой перестройки спектральной полосы пропускания, что позволяет использовать его в оптических схемах с произвольным числом зеркал, при этом полосы пропускания прибора и оптической схемы будут совпадать.

查看译文

上传PDF

引用

AI Read Science

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

AI Read Science

数据免责声明

页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果，我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问，可以通过电子邮件方式联系我们：report@aminer.cn

Chat Paper

正在生成论文摘要