ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ

Методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды получены пленки TiO2. Установлено изменение фазового состава пленок при изменении температур осаждения и отжига. При температуре осаждения 150 °C образуются аморфные пленки, при температурах 200-400 °С – пленки, содержащие фазу анатаза, при более высоких температурах (450 и 500 °C) – пленки, содержащие смесь фаз анатаза и рутила. Отжиг высокотемпературных пленок при температурах 400 и 500 °C приводит к увеличению относительной интенсивности рефлексов рутила. Методами растровой электронной микроскопии и атомно силовой микроскопии исследована морфология пленок. С ростом температуры осаждения наблюдается увеличение размера зерен на поверхности пленок.