1 前言 敏感材料,是指可感知电、光、声、热、力、磁和气体等物理量、化学量和生物量微小变化,并能根据变化量表现出明显相应特征变化的材料.传感器是利用敏感材料的性能的感知元件,用于识别、采集被测量对象的相关信息,如光强度、压力的大小及变化、溶液中离子的活跃度、振动频率、声波强度、电信号强度、辐射量、温度变化、气体成分和浓度等.敏感材料又被称为传感器材料.

碳化硅半导体器件的迅速发展,给相关研究以及产业领域提出了很多需要解决的问题,产生了许多不确定性因素,但也带来了新的产业和机遇.本文主要从材料的传统机械特性做一个介绍性的讨论.