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1
Method for detecting CMP endpoint in acidic slurries
Leping Li
,
Steven G Barbee
,
Scott R Cline
,
James Albert Gilhooly
,
Xinhui Wang
,
Cong Wei
2005
引用：24
引用
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加入学术空间
2
Chemiluminescence detection apparatus
L I Leping
,
James Albert Gilhooly
,
Null Morgan O Clifford
,
Cong Wei
,
Werner Moser
,
Matthias Kutter
,
Joseph Knee
,
Walter Imfeld
,
Bruno Greuter
,
Heinz Stunzi
2003
引用：23
引用
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加入学术空间
3
Interface device for sti/bpsg EPD and real time control
Leping Li
,
James Albert Gilhooly
,
Morgan O Clifford
,
Cong Wei
,
Werner Moser
,
Matthias Kutter
,
J L Knee
,
Walter Imfeld
,
Bruno Greuter
,
Heinz Stuenzi
2003
引用：23
引用
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加入学术空间
4
Optimization of chemical mechanical process by detection of oxide/nitride interface using CLD system
Leping Li
,
James Albert Gilhooly
,
Clifford Owen Morgan
,
Cong Wei
2001
引用：32
引用
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加入学术空间
5
Endpoint detection by chemical reaction
Leping Li
,
James Albert Gilhooly
,
Clifford Owen Morgan
,
Cong Wei
,
Chienfan Yu
2001
引用：28
引用
AI阅读
加入学术空间
6
Optimization of CMP process by detecting of oxide/nitride interface using IR system
Leping Li
,
James Albert Gilhooly
,
Clifford Owen Morgan
,
Cong Wei
2001
引用：25
引用
AI阅读
加入学术空间
7
Real-time control of chemical-mechanical polishing processing by monitoring ionization current
Leping Li
,
James Albert Gilhooly
,
Clifford Owen Morgan
,
Cong Wei
2001
引用：25
引用
AI阅读
加入学术空间
8
Endpoint detection by chemical reaction and reagent
Leping Li
,
James Albert Gilhooly
,
Clifford Owen Morgan
,
Cong Wei
2001
引用：50
引用
AI阅读
加入学术空间
9
Indirect endpoint detection by chemical reaction and chemiluminescence
Leping Li
,
James Albert Gilhooly
,
Clifford Owen Morgan
,
William Joseph Surovic
,
Cong Wei
2000
引用：31
引用
AI阅读
加入学术空间
10
Indirect endpoint detection by chemical reaction
Leping Li
,
James Albert Gilhooly
,
Clifford Owen Morgan
,
Cong Wei
,
Chienfan Yu
2000
引用：30
引用
AI阅读
加入学术空间
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
合作者
学生
导师
james albert gilhooly
合作论文数
10
leping li
合作论文数
8
clifford owen morgan
合作论文数
7
moser werner
合作论文数
2
chienfan yu
合作论文数
2
bruno greuter
合作论文数
2
matthias kutter
合作论文数
2
Joseph L Knee
合作论文数
Department of Chemistry;Wesleyan University;Department of Chemistry, Wesleyan University
2
steven g barbee
合作论文数
1
相似学者
james albert gilhooly
leping li
clifford owen morgan
moser werner
chienfan yu
bruno greuter
matthias kutter
Joseph L Knee
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