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1INCLINE - Inductively coupled plasma for CMOS-compatible etching of III-V integrated laser sources

S. Bouchoule,L. Gatilova,G. Patriarche,S. Guilet,L. Le Gratiet, L. Vallier,Pascal Chabert,Jean-Paul Booth,Romain Chanson,A. Rhallabi,Ch. Cardinaud,P. Rojo-Roméo,

2011HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)

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作者统计

合作学者

合作机构

D-Core

合作者
学生
导师

L. Gatilova合作论文数1

Gilles Patriarche合作论文数1

Sophie Bouchoule合作论文数LPN, CNRS1

Xavier Letartre合作论文数1

Romain Chanson合作论文数Física Materia Condensada, ETSII1

Ch. Cardinaud合作论文数1

P. Rojo-Romeo合作论文数1

Ahmed Rhallabi合作论文数Institut des Matériaux Jean-Rouxel 2, Université de Nantes1

L. Le Gratiet合作论文数Laboratoire de Photonique et de Nanostructures, UPR CNRS 201

Jean Louis Leclercq合作论文数1

Stephane Guilet合作论文数1

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