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研究领域
微细加工装备整机及关键技术研究
微细加工装备是各种集成电路、芯片及各种微纳结构制造的母机,是信息化时代的基石。高端微细加工装备研制极具难度,代表了现代工业制造最高水平。
本研究领域是光电所特色研究领域之一,包括照明、物镜、对准、检焦、工件台等关键技术,以及整机控制、软件,集成、调试及性能检测等多项研究内容,涉及光学、机械、电控及软件多个学科方向,对基础理论及工程实践能力有极高的要求。
微细加工装备整机及关键技术研究
微细加工装备是各种集成电路、芯片及各种微纳结构制造的母机,是信息化时代的基石。高端微细加工装备研制极具难度,代表了现代工业制造最高水平。
本研究领域是光电所特色研究领域之一,包括照明、物镜、对准、检焦、工件台等关键技术,以及整机控制、软件,集成、调试及性能检测等多项研究内容,涉及光学、机械、电控及软件多个学科方向,对基础理论及工程实践能力有极高的要求。
研究兴趣
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合作机构
Third International Conference on Advanced Manufacturing Technology and Electronic Information (AMTEI 2023) (2024)
IEEE Photonics Journalno. 99 (2024): 1-8
Micromachinesno. 2 (2024): 289-289
Zhongguo jiguangno. 18 (2023): 1813016-1813016
APPLIED SCIENCES-BASELno. 9 (2023): 5708-5708
Journal of the American Ceramic Societyno. 6 (2023): 3557-3567
AOPC 2023:COMPUTING IMAGING TECHNOLOGY (2023)
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作者统计
#Papers: 295
#Citation: 1294
H-Index: 22
G-Index: 25
Sociability: 6
Diversity: 1
Activity: 2
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