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Error Modeling And Accuracy Breakdown In Optical Overlay Metrology For Advanced Nodes
Klein Dana, Negri Daria
OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXXIV (2021)
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Accuracy optimization with wavelength tunability in overlay imaging technology
Honggoo Lee, Yoonshik Kang, Sangjoon Han, Kyuchan Shim,Minhyung Hong,Seungyoung Kim,Jieun Lee,Dongyoung Lee, Eungryonh Oh, Ahlin Choi,Youngsik Kim,Tal Marciano,
Proceedings of SPIE (2018)
引用3浏览0引用
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Accuracy in optical overlay metrology
Barak Bringoltz,Tal Marciano, Tal Yaziv,Yaron DeLeeuw,Dana Klein, Yoel Feler,Ido Adam, Evgeni Gurevich, Noga Sella, Ze’ev Lindenfeld,Tom Leviant, Lilach Saltoun,
Proceedings of SPIE（2016）
引用20浏览0引用
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Qmerit-calibrated overlay to improve overlay accuracy and device performance
Md Zakir Ullah, Mohamed Fazly Mohamed Jazim, Stella Sim,Alan Lim, Biow Hiem, Lieu Chia Chuen, Jesline Ang, Ek Chow Lim,Dana Klein, Eran Amit, Roie Volkovitch,David Tien,
Proceedings of SPIE（2015）
引用1浏览0引用
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Overlay accuracy calibration
Eran Amit,Dana Klein,Guy Cohen, Nuriel Amir, Michael M Harzvi, Cindy Kato,Hiroyuki Kurita
Proceedings of SPIE (2013)
引用11浏览0引用
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Quality metric for accurate overlay control in <20nm nodes
Dana Klein, Eran Amit,Guy Cohen, Nuriel Amir, Michael Harzvi, C K Huang, Ramkumar Karurshanmugam, Bill Pierson, Cindy Kato,Hiroyuki Kurita
Proceedings of SPIE（2013）
引用13浏览0引用
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Overlay accuracy fundamentals
Daniel Kandel, Vladimir Levinski,Noam Sapiens,Guy Cohen, Eran Amit,Dana Klein, Irina Vakshtein
Proceedings of SPIE（2012）
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