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On the Early History of Atomic Layer Deposition: Most Significant Works Andapplications
Jaan Aarik, Esko Ahvenniemi, R Akbashev Andrew, l. Bechelany Mikhael,Maria Berdova,Mikhail Chubarov,Drozd Viktor,Elliott Simon, G. Gottardi,Kestutis Grigoras, Hwang Cheol Seong,Marcel Junige, Kallio Tanja, Kanervo Jaana,Khmelnitskiy Ivan,Koshtyal Yury, Krause Outi, Kääriäinen Marja Leena,Kääriäinen Tommi,Lamagna Luca,Harri Lipsanen,Jussi Lyytinen, Malkov Anatoly, Malygin Anatoly, Molarius Jyrki,Małgorzata Norek, Ozgit Akgun Cagla,Mikhail Panov, Pedersen Henrik, F. Piallat,Georgi Popov, L. Puurunen Riikka, Pyymaki Perros Alexander, H. A. Ras Robin,Fred Roozeboom, Sajavaara Timo,Savin Hele, Pia Sundberg,Jonas Sundqvist,Suyatin Dmitry,Massimo Tallarida,Tobias Törndahl,Mikko Utriainen,J. Ruud van Ommen, Thomas Wächtler,Wiemer Claudia, M. E. Ylivaara Oili, Yurkevich Oksana
openalex（2016）
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