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SEMICONDUCTOR DEVICES WITH ASYMMETRIC HALO IMPLANTATION AND METHOD OF MANUFACTURE
Darshana N Bhagat, Thomas J Dunbar, Yen Li Lim,Jed H Rankin,Eva A Shah
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
LOCALLY TAILORING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING (CMP) POLISH RATE FOR DIELECTRICS
Yoba Amoah, Graham M Bates, Jospeh P Hasselbach, Thomas L Mcdevitt,Eva A Shah
mag（2013）
引用24浏览0引用
24
0
SLURRY FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF COPPER AND USE THEREOF
Graham M Bates, Michael T Brigham, Joseph K Comeau, Jason P Ritter,Eva A Shah, Matthew T Tiersch, Eric J White
mag（2013）
引用24浏览0引用
24
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