基本信息
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职业迁徙
个人简介
研究领域
激光技术/器件/应用,无机功能薄膜材料与器件, 激光装备研发,具体内容为:准分子激光器件及应用,激光医疗仪器,准分子激光设备,半导体器件,半导体集成电路光刻光源设备,太阳能电池,半导体材料及传感器,紫外激光与材料相互作用
课题项目:
主持了国家科技重大专项课题、国家自然科学基金、国家重大科研仪器研制等项目。
以第一作者或通讯作者身份已发表SCI论文100余篇,申请发明专利20余项,率领团队研制和开发了一批准
分子激光工业、医疗及科研设备,研制了国内首台用于90nm半导体集成电路光刻机光源的高重频电源系统
激光技术/器件/应用,无机功能薄膜材料与器件, 激光装备研发,具体内容为:准分子激光器件及应用,激光医疗仪器,准分子激光设备,半导体器件,半导体集成电路光刻光源设备,太阳能电池,半导体材料及传感器,紫外激光与材料相互作用
课题项目:
主持了国家科技重大专项课题、国家自然科学基金、国家重大科研仪器研制等项目。
以第一作者或通讯作者身份已发表SCI论文100余篇,申请发明专利20余项,率领团队研制和开发了一批准
分子激光工业、医疗及科研设备,研制了国内首台用于90nm半导体集成电路光刻机光源的高重频电源系统
研究兴趣
论文共 311 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
Sensors and Actuators B: Chemicalpp.135705, (2024)
Infrared and Laser Engineeringno. 3 (2023): 20220468-20220468
引用0浏览0引用
0
0
JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY Cno. 25 (2023): 8533-8540
ACS APPLIED NANO MATERIALSno. 18 (2023): 17301-17310
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作者统计
合作学者
合作机构
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