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POLISHING SYSTEM WITH LOCAL AREA RATE CONTROL
Chih Hung Chen, Paul D Butterfield,Shousung Chang
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
VAPOR DRYER MODULE WITH REDUCED PARTICLE GENERATION
Dan Zhang, Jim K Atkinson,Hung Chih Chen, Allen L Dambra
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
Retaining ring monitoring and control of pressure
Hung Chih Chen,Thomas H Osterheld, Charles C Garretson, Jason Garcheung Fung
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
TEXTURED MEMBRANE FOR A MULTI-CHAMBER CARRIER HEAD
Jeonghoon Oh, Tszsin Siu,Hung Chih Chen, Andrew J Nagengast,Steven M Zuniga, Thomas Brezoczky
mag（2015）
引用23浏览0引用
23
0
MULTI-DISK CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PAD CONDITIONERS AND METHODS
Hung Chen,Shousung Chang, Jason Garcheung Fung,Matthew A Gallelli, Paul D Butterfield, Kevin Chou
mag（2014）
引用24浏览0引用
24
0
Polishing System with Front Side Pressure Control
Shousung Chang, Takashi Fujikawa,Hung Chih Chen, Paul D Butterfield
mag（2014）
引用23浏览0引用
23
0
POLISHING PAD CONDITIONER PIVOT POINT
Hung Chih Chen,Shousung Chang, Jason Garcheung Fung
mag（2014）
引用22浏览0引用
22
0
METHODS AND APPARATUS FOR PRE-CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION BUFFING MODULE
Allen L Dambra, Jim K Atkinson,Hung Chen
mag（2013）
引用23浏览0引用
23
0
SYSTEMS AND METHODS FOR SUBSTRATE POLISHING END POINT DETECTION USING IMPROVED FRICTION MEASUREMENT
Shousung Chang,Hung Chen, Lakshmanan Karuppiah, Paul D Butterfield, Erik S Rondum
mag（2013）
引用24浏览0引用
24
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