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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ano. 3 (2023)
V. G. Antunes,M. Rudolph,A. Kapran, H. Hajihoseini,M. A. Raadu,N. Brenning,J. T. Gudmundsson,D. Lundin,T. Minea
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGYno. 7 (2023): 075016-075016
H. Hajihoseini, N. Brenning,M. Rudolph, M. A. Raadu,D. Lundin,J. Fischer,T. M. Minea,J. T. Gudmundsson
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ano. 1 (2023)
Surface and Coatings Technology (2022)
Surface and Coatings Technology (2022): 128189-128189
64th Annual Technical Conference ProceedingsAnnual Technical Conference Proceedings (2021)
2021 International Semiconductor Conference (CAS)pp.21-24, (2021)
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