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mag(2005)
引用42浏览0引用
42
0
mag(2001)
引用25浏览0引用
25
0
mag(2001)
引用39浏览0引用
39
0
Stanley Siu,Vahid Vahedi,Roger Patrick,Scott A Baldwin, N C Williams, Jason Alberti,S Alba,Omar Vassalli, Grazia Valentini,Paolo Colombo
Santa Clara, CApp.50-53, (2000)
PLASMA ETCHING PROCESSES FOR SUB-QUARTER MICRON DEVICES, PROCEEDINGSno. 30 (2000): 55-63
引用0浏览0引用
0
0
PLASMA ETCHING PROCESSES FOR SUB-QUARTER MICRON DEVICES, PROCEEDINGSno. 30 (2000): 124-133
引用0浏览0引用
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#Papers: 17
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