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Optical and Electrical Characterisation Study of SiCl4 Reactive Ion Etched Gaas
Murtagh M.,Ye Shu-Ren, Masterson H. J., Beechinor J. T., Crean G. M.,Auret F. D., Deenapanray P. N. K.,Meyer W. E., Goodman S. A., Myburg G.
MRS Online Proceedings Library（2011）
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Optical And Electrical Characterisation Study Of SICL4 Reactive Ion Etched Gaas
M. Murtagh,Shu-Ren Ye, H.J. Masterson, J.T. Beechinor,G.M. Crean,F.D. Auret, P.N.K. Deenapanray, W.E. Meyer,S.A. Goodman, G. Myburg
MRS Proceedings (1996)
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