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Chemical-Mechanical Polishing of Sic Surfaces Using Hydrogen Peroxide or Ozonated Water Solutions in Combination with Colloidal Abrasive
T Kerr, Christopher T Martin, Walter R Stepko, Thomas E Anderson
mag（2008）
引用23浏览0引用
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Dislocation in 4H n<sup>+</sup> SiC Substrates and their Relationship with Epilayer Defects
Ping Wu, Ejiro Emorhokpor,Murugesu Yoganathan,Thomas Kerr,Jie Zhang, Esteban Romano,Ilya Zwieback
Materials Science ForumSilicon Carbide and Related Materials 2006pp.247-250, (2007)
引用0浏览0引用
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6H and 4H-SiC Bulk Growth by PVT and Advanced PVT (APVT)
A. Gupta,M. Yoganathan, E. Semenas,I. Zwieback, E. Emorhokpor,C. Martin,T. Kerr, A. Souzis, T. Anderson,J. Chen, C. Tanner, D. Barrett,
Materials Research Society Symposium Proceedings（2004）
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