Gang Tan(谭刚)Institute of Electronic Engineering China Academy of Engineering Physics关注立即认领分享关注立即认领分享基本信息浏览量:14职业迁徙个人简介暂无内容研究兴趣论文共 12 篇作者统计合作学者相似作者按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选时间引用量主题期刊级别合作者合作机构硅探测器加工中的离子注入工艺设计与控制唐海林,罗剑波,张莉,谭刚微纳电子技术(2012)引用0浏览0引用00大芯径光纤传输兆瓦级Nd∶YAG激光脉冲实验赵兴海,胡建平,高杨,马平,谭刚,吴嘉丽Chinese Journal of Lasersno. 08 (2010): 16-20引用2浏览0WOSSCOPUS引用20高浓度硼扩散硅片CMP工艺改进技术谭刚,吴嘉丽机电工程技术(2010)引用1浏览0引用10高浓度硼扩散硅片CMP工艺研究谭刚,吴嘉丽,唐海林仪表技术与传感器(2009)引用0浏览0引用00无掩膜腐蚀与伺服型电容式微加速度计袁明权,彭勃,赵龙,武蕊,唐海林,席仕伟,谭刚Information and Electronic Engineeringno. 05 (2009): 60-62引用23浏览0引用230Analysis of the Effects on Silicon Wafer CMP VelocityTan GangMicronanoelectronic Technology(2007)引用22浏览0引用220低压化学气相淀积多晶硅薄膜工艺研究谭刚,吴嘉丽,李仁锋新技术新工艺(2006)引用5浏览0引用50多晶硅薄膜厚度测量技术李仁锋,吴嘉丽,谭刚计量与测试技术(2006)引用6浏览0引用60SiH2CL2-NH3-N2体系LPCVD Si3N4薄膜因素分析谭刚,吴嘉丽mag(2005)引用23浏览0引用230硅衬底的化学机械抛光工艺研究谭刚,吴嘉丽仪器仪表学报(2005)引用23浏览0引用230加载更多作者统计合作学者合作机构D-Core合作者学生导师暂无相似学者,你可以通过学者研究领域进行搜索筛选数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn