基本信息
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个人简介
从事MEMS、传感器与执行器及集成电路领域研究,包括: 1.MEMS CAD技术:MEMS微结构模拟仿真与优化设计,包括力、流体、温度和电磁场等分析; 2.传感器ASIC接口电路集成技术:通过集成电路芯片设计及加工实现传感器与电路的集成化,包括模拟电路和数模混合电路芯片设计; 3.MEMS多功能传感器技术:包括压力-温度、声-振动和自检测压力等传感器; 4.MEMS微驱动和微执行器技术:包括PZT压电厚膜驱动和微阀、微泵等; 5.MEMS SOC技术研究:包括微流体测控系统和微生化分析系统等; 6.生物芯片技术。
研究兴趣
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Micromachinesno. 6 (2023): 1256-1256
Fengqian Zou,Shengtian Sang,Ming Jiang, Hongliang Guo, Shaoqing Yan,Xiaoming Li,Xiaowei Liu,Haifeng Zhang
International Journal of Fatigue (2023): 107734-107734
SSRN Electronic Journal (2023)
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Microchemical Journal (2023): 108510-108510
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Advances in economics, business and management research (2022)
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