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Defect Engineering at the Al2O3/(010) β-Ga2O3 Interface via Surface Treatments and Forming Gas Post-Deposition Anneals

Ahmad Ehteshamul Islam,Chenyu Zhang,Kursti DeLello,David A. Muller,Kevin D. Leedy,Sabyasachi Ganguli,Neil A. Moser,Rachel Kahler,Jeremiah C. Williams,Daniel M. Dryden,Stephen Tetlak,Kyle J. Liddy,Andrew J. Green,Kelson D. Chabak

IEEE Transactions on Electron Devices（2022）

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