Электрохимические системы очень перспективны для разработки новой элементной базы для микроэлектроники и для использования в широком спектре инженерных задач. Мы разработали новую микроэлектронную технологию для изготовления электрохимических преобразователей (ЭХП) и новые приборы на основе новых электрохимических микроэлектронных чипов. Планарные электрохимические преобразователи могут использоваться в акселерометрах, сейсмических датчиках, датчиках вращения, гидрофонах и датчиках давления. Electrochemical systems are very promising for the development of a new element base for microelectronics, and for use in a wide range of engineering applications. We have developed a new microelectronic technology for manufacturing electrochemical transducers (ECP) and new devices based on new electrochemical microelectronic chips. Planar electrochemical transducers are used in accelerometers, seismic sensors, rotation sensors, hydrophones and pressure sensors.
原文链接
分享
引用
