Известия Российской академии наук Серия физическая（2011）
被引用0|浏览2
摘要
Сообщается о созданном в ИФМ РАН, впервые в России, стенде нанолитографа-мультипликатора с рабочей длиной волны 13.5 нм и расчетным пространственным разрешением 30 нм. Дано подробное описание принципов и подходов, использованных при построении стенда и его основных узлов. Сообщается о планируемых работах с использованием стенда.
分享
引用
