РАЗРАБОТКА СИСТЕМ ТЕСТИРОВАНИЯ И ОТЛАДКИ ПРОГРАММИРУЕМЫХ ЛОГИЧЕСКИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, "электронная Техника. Серия 3. Микроэлектроника"

Решается задача численного моделирования значений компонент тензоров концентрации напряжений и деформаций в мезопористых структурах на основе кремния с адсорбированной водой, замерзшей в условиях пространственного ограничения. Построенная модель учитывает наличие на поверхности пор в указанных материалах естественного слоя диоксида кремния, структуру неоднородной среды (отношение толщины оксидного слоя к радиусу нитевидной поры, а также ориентацию пор в пространстве кремниевой мембраны) и объемное содержание компонентов.