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1
Chemical delivery apparatus for CVD or ALD
Norman Nakashima
,
Christophe Marcadal
,
Seshadri Ganguli
,
P Ma
,
Schubert S Chu
2010
引用：32
引用
AI阅读
加入学术空间
2
Method of recovering valuable material from exhaust gas stream of a reaction chamber
Schubert S Chu
,
Frederick C Wu
,
Christophe Marcadal
,
Seshadri Ganguli
,
Dienyeh Wu
,
Kavita Shah
,
P Ma
2007
引用：29
引用
AI阅读
加入学术空间
3
ATOMIC LAYER DEPOSITION PROCESSES FOR RUTHENIUM MATERIALS
P Ma
,
Kavita Shah
,
Dienyeh Wu
,
Seshadri Ganguli
,
Christophe Marcadal
,
Frederick C Wu
,
Schubert S Chu
2007
引用：41
引用
AI阅读
加入学术空间
4
Apparatus and process for plasma-enhanced atomic layer deposition
P Ma
,
Kavita Shah
,
Dienyeh Wu
,
Seshadri Ganguli
,
Christophe Marcadal
,
Frederick C Wu
,
Schubert S Chu
2006
引用：150
引用
AI阅读
加入学术空间
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
合作者
学生
导师
seshadri ganguli
合作论文数
4
Schubert Chu
合作论文数
4
Christophe Marcadal
合作论文数
4
frederick c wu
合作论文数
3
dienyeh wu
合作论文数
3
Kavita Shah
合作论文数
QuSpin Inc., 2011 Cherry Street, Unit 112, Louisville, CO 80027, USA
3
norman nakashima
合作论文数
1
相似学者
seshadri ganguli
Schubert Chu
Christophe Marcadal
frederick c wu
dienyeh wu
Kavita Shah
norman nakashima
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