基本信息
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职业迁徙
个人简介
主要从事纳米制造中关键尺寸、3D形貌、以及套刻精度等参数光学测量方面的研究工作。作为主要研究人员,先后参加了国家863项目“高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备”、国家科技重大专项子课题“基于模型的光学临近校正技术”以及国家自然科学基金重大研究计划项目“基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法研究”、国家重大科学仪器开发专项“宽光谱广义椭偏仪设备开发”等多项国家级科研课题。主持完成一项国家自然科学基金青年基金项目“基于红外椭偏光谱的高深宽比深沟槽结构侧壁形貌参数测量方法研究”。申请国家发明专利16项,发表学术论文20余篇。
研究兴趣
论文共 94 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
Materialsno. 12 (2024): 2921-2921
Thin solid films (2023): 139739-139739
THIN SOLID FILMS (2023)
Nanomanufacturing and Metrologyno. 3 (2020): 228-235
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作者统计
#Papers: 94
#Citation: 1293
H-Index: 20
G-Index: 33
Sociability: 5
Diversity: 3
Activity: 27
合作学者
合作机构
D-Core
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